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SJ6000激光干涉儀

產品型號: SJ6000

激光干涉儀以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,且可以溯源至國家標準,是迄今公認的高精度、高靈敏度的測量儀器,在高端制造領域應用廣泛。...

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詳情參數

穩頻方式:雙頻激光熱穩頻

穩頻精度:0.05ppm

線性測量精度:0.5ppm(0-40)℃

線性測量距離:(0-80)m(無需遠距離線性附件)

角度測量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M μm/m

測量分辨力:1nm

動態采集頻率:50KHz

預熱時間:≤6分鐘

工作溫度范圍:(0-40)℃

環境溫度范圍:(0-40)℃,環境濕度:0-95%

主要特點:應用范圍廣、測量精度高、操作方便

生產企業:深圳市中圖儀器股份有限公司

詳細信息

一、產品簡介

激光干涉儀以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,且可以溯源至國家標準,是迄今公認的高精度、高靈敏度的測量儀器,在高端制造領域應用廣泛。

SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體,產品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調理及細分技術,可實現最高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;采用高性能計算機控制系統及軟件技術,支持中文、英文和俄文語言,友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。


SJ6000激光干涉儀(圖1)
 

SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

二、產品配置

SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。


SJ6000激光干涉儀(圖2)
 

其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成??蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。

三、工作原理

激光器發射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。

若光程差有變化時,探測器會在每一次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。


SJ6000激光干涉儀(圖3)
 

三四、產品功能特點

◆精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩定可靠。

◆功能廣

  ● 可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;

  ● 可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

  ● 可實現龍門機床雙軸同步測量;

  ● 可實現對機床回轉軸的測量與校準;

  ● 可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;

  ● 具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;

  ● 支持手動或自動進行環境補償。

◆軟件強

  ●  友好的人機界面;

  ●  豐富的應用功能模塊;

  ●  向導式的操作流程;

  ●  簡潔化的記錄管理;

  ●  支持中文、英文和俄文界面;

  ●  支持企業專屬模板定制。

 


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